產(chǎn)品中心
Product Center超高真空插板閥
應用背景（Application Background）
HV/UHV GATE VALVE是一種廣泛應用于半導體制造、涂層技術、核能工業(yè)和其他高精密度工程領域的閥門。其主要作用是控制氣體或液體在真空環(huán)境下的流量和壓力，從而確保生產(chǎn)過程中的穩(wěn)定性和可靠性。主要用于ALD/PECVD設備、CVD刻蝕設備
主要特點：
優(yōu)質波紋管密封閥
無沖擊，且振動極小。
不銹鋼材質的閥體，具有耐腐蝕性。
機械鎖處于閉合位置。
DN63-320，帶FKM O形環(huán)閘封
氣動、兩位置/三位置致動器
提供ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS法蘭選項。
選項：自定義法蘭
可提供定制的開口尺寸。
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| 下氣缸 | 側氣缸 |
產(chǎn)品規(guī)格（Product Specification）
項目 | 10846系列 | 10844系列 |
KVTS P/N | KPGV-ISO-F200/SS-01 | KPGV-ISO-F160/SS-01 |
Actuators驅動器 | Pneumatic氣動: double acting雙作用 3-position pneumatic3位氣動: double acting雙作用 | |
法蘭口徑 | 10846系列 | DN200 |
10844系列 | DN160 | |
Feedthrough | bellows | |
Flange Type法蘭類型 | ISO-F/CF-F/ASA-LP/JIS | |
Leak rate泄漏率 | Body/閥體 | <5·10-10mbar·L/S |
Seat/閥座 | <1·10-9mbar·L/S | |
內腔**壓力 | ≤1.6 bar | |
Temperature溫度 | Valve body/閥體 | ≤250℃ open ≤250℃ closed |
Pneumatic actuator 氣動執(zhí)行器 | ≤200℃ | |
Material/材料 | Valve body/閥體 | SUS 304 |
Withstand voltage/ 耐壓 | 使用耐壓范圍 | 1·10-10mbar-1.2bar |
Seal密封 | Gate/門 | FKM |
Bonnet/閥蓋 | Metal | |
Intake pressure/進氣壓力 | CDA/大氣壓 | 4-7bar |
Position indicator 位置指示器 | 24 V DC/5 to 40 mA | |
指示燈 | 紅光發(fā)光二極管（LED）亮起時亮起 | |
可替代VAT系列 | 10846系列 | 10846-UE28-AVN2 10846-UE24-ALK1 10846-PE24-ATU2 |
10844系列 | 10844-CE44-ASG1 10844-PE24-0005 | |
