產(chǎn)品中心
Product Center氣動(dòng)插板閥
應(yīng)用范圍：
通用真空、太陽能、半導(dǎo)體處理、PVD， 濺射沉積
產(chǎn)品特點(diǎn)：
擁有成本低廉
優(yōu)質(zhì)O形環(huán)軸密封閥
無沖擊，且振動(dòng)極小。
鋁質(zhì)閥體材料
在空氣故障時(shí)，機(jī)械鎖處于閉合位置。
DN40-320，帶FKM O形環(huán)閘封
氣動(dòng)執(zhí)行器雙作用型
提供ISO-K、ISO-F公制法蘭選項(xiàng)。
選項(xiàng)：自定義法蘭
可提供定制的開口尺寸。
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產(chǎn)品規(guī)格（Product Specification）
廠商 | KVTS | |
型號(hào) | KVTS GATE VALVE | |
尺寸 | 尺寸可定制 | |
執(zhí)行機(jī)構(gòu) | 氣動(dòng) | |
FEEDTHROUGH | NO BELLOWS | |
法蘭形式 | ISO-K | |
漏率 | 閥體 | ≤1*10E-9 |
閥座（pa.m2/s) | ≤1*10E-9 | |
壓力范圍 | 1·10-10mbar-1.6bar | |
壓差范圍 | 閥板 | ≤1.6bar |
打開時(shí) | ≤30mbar | |
導(dǎo)流 | / | |
**維護(hù)前循環(huán)開關(guān)次數(shù) | 50000+ | |
溫度 | 閥體 | 常溫/可選加熱（0-300℃） |
驅(qū)動(dòng)器 | 常溫 | |
電磁閥 | 常溫 | |
位置指示器 | 常溫 | |
加熱或冷卻速率 | 20℃/min | |
材料 | 閥體 | AL |
閘門（閥座） | AL | |
閥蓋 | AL | |
軸（閥桿） | AL | |
機(jī)構(gòu) | AL | |
波紋管 | 無波紋管 | |
波紋管端部（Bellows end piece | 無波紋管 | |
襯套（boshing) | PTFE | |
密封 | 閥蓋 | o-ring |
閘門（閥座） | o-ring | |
驅(qū)動(dòng)器 | o-ring | |
真空密封 | o-ring | |
氣動(dòng)密封 | o-ring | |
安裝位置 | 設(shè)備端 | |
氣動(dòng)執(zhí)行器體積 | / | |
壓縮空氣壓力 | 4-6bar | |
壓縮空氣接口 | 4mm快速氣管接口 | |
