應(yīng)用背景(Application Background)

半導(dǎo)體工藝過(guò)程中，需要定期對(duì)設(shè)備腔體及真空管道進(jìn)行清潔保養(yǎng)，必須關(guān)閉 PUMP 才可進(jìn)行。由于啟動(dòng)電流較大，頻繁再啟動(dòng)降低PUMP 使用壽命。同時(shí) PUMP 頻繁啟動(dòng)，容易造成旋片卡死，造成不可逆轉(zhuǎn)損毀。

KVTS  MANUAL  GATE  VALVE直接安裝于PUMP 上方，預(yù)期停機(jī)保養(yǎng)時(shí)，可直接 關(guān)閉，將真空管道與PUMP 完全隔離，無(wú)需關(guān)閉PUMP 電源，延長(zhǎng)使用壽命。

產(chǎn)品特點(diǎn)（Features）

●自然柔和的Open/Close動(dòng)作。

●機(jī)械式傳動(dòng)，內(nèi)部軸承運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。

●因精巧的卡環(huán)設(shè)計(jì)，震動(dòng)也無(wú)法消除Locking結(jié)構(gòu)。

●可通過(guò)Indicator確認(rèn)閥門(mén)位置。

產(chǎn)品規(guī)格（Product Specification）