產(chǎn)品中心
Product Center逆止閥
應(yīng)用背景（Application Background）
在沒有進行周期更換PUMP上，常因PUMP不預期停機，導致氣體回灌，腔體污染，從而導致不良品發(fā)生。同時還要對已污染腔體，進行清潔保養(yǎng)，嚴重影響生產(chǎn)計劃，降低產(chǎn)能。
KVTS CHCEK VALVE通過簡單的機械結(jié)構(gòu)，當PUMP異常停機時，閥門下端氣壓大于上端氣壓，閥體內(nèi)部活動密封板上升，閥門可以做到立即關(guān)閉，預防氣體回灌，并短時保 壓。主要用在CVD、ETCH、DIFF等POWDER工藝和腐蝕工藝(300mm、450mmprocess 、LCD line)
逆止閥參數(shù)（Chcek Valve Parameter）
型號Model | KVTS-QSV-XX(法蘭尺寸大小Fange size) |
閥體Valve body | 鋁(陽極氧化)Aluminum(Anodized) |
密封板Sealing board | 鋁(陽極氧化)Aluminum(Anodized) |
導向裝置Guiding device | SUS |
法蘭型號Flange model | KF/IS0 |
密封Seal | FKM(可選Optional) |
泄露率Leakage rate | <3.5x10-mbar |
安裝方向Installation direction | 垂直Vertical |
關(guān)閉時間Closing time | <0.03seo |
關(guān)閉條件Closig condition | 閥門上下兩端壓力差≥0.1Tor |
加熱款逆止閥（Chcek Valve Heater Type）
可調(diào)節(jié)溫度Adjustabletemp. | ≤150℃ |
加熱套厚度Heating jacket thickness | 可以定做Customizable |
加熱套尺寸Heating jacket size | 可以定做Customizable |
加熱器作用Heater function | 減少powder黏附，增加PM周期 |
