產(chǎn)品中心
Product Center全自動(dòng)插板閥
應(yīng)用背景(Application Background)
在CVD、ETCH、DIFF、T/F等Powder 較多工藝的部門，常因PUMP 不預(yù)期停機(jī)，導(dǎo)致氣體回灌，腔體污染，從而導(dǎo)致不良品發(fā)生。同時(shí)還要對(duì)已污染腔 體，進(jìn)行清潔保養(yǎng)，嚴(yán)重影響生產(chǎn)計(jì)劃，降低產(chǎn)能。
KVTS Auto Gate Valve通過(guò)添加PUMP nterface BD信號(hào)，實(shí)現(xiàn)PUMP 和Main Controller的通信，當(dāng)PUMP 異常停機(jī)時(shí)，Main controller收到信號(hào)后，立即關(guān) 閉閥門，預(yù)防氣體回灌，并保持管路壓力。
產(chǎn)品特點(diǎn)(Features)
0 .2(秒）快速關(guān)閉
長(zhǎng)時(shí)間保壓
低顆?？刂?/p>
打開/關(guān)閉循環(huán)期間的影響低
恒定的泄漏率
保護(hù)環(huán)配置
軟泵旁通閥配置
NO狀態(tài)直通式設(shè)計(jì)，有利于保護(hù)驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu)
隱藏式密封圈設(shè)計(jì)提供**真空性能
可靠性好
更長(zhǎng)的提升時(shí)間
維護(hù)方便
標(biāo)準(zhǔn)款 加熱款 一體款
產(chǎn)品規(guī)格（Product Specification）
| 名稱 | AGV—體款 | AGV標(biāo)準(zhǔn)款 | AGV加熱款 |
閥體Valve body | AL6061 陽(yáng)極氧化 | AL6061 陽(yáng)極氧化 | AL6061 陽(yáng)極氧化 |
法蘭Flange | SUS316 | SUS316 | SUS316 |
泄漏率Leak rate | ≤1x10E-8 | ≤1x10E-8 | ≤1x10E-8 |
Temperature(°C) | 常溫 | 常溫 | ≤180° |
密封圈(閥蓋，閘板)Sealing Ring | FKM/FFKM(Viton) | FKM/FFKM(Viton) | FKM/FFKM(Viton) |
關(guān)閉/開啟時(shí)間Off/On time | <0.3 | <0.3 | <0.3 |
控制器種類Controller type | MINI控制器 MINI controller | 外接控制器 External controller | 外接控制器 External controller |
加熱功能Heating function | 無(wú) N o n e | 有Yes | 有Yes |
